分子真空ポンプ
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分子真空ポンプに一致するページ 約364000件中 1- 30 件目
分子真空ポンプ
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- CiNii Article - 複合分子ポンプの開発
複合分子ポンプの開発 [in Japanese] 金戸 成 (株)大阪真空機器製作所八王子工場 ... 分子ポンプで得られる排気性能をけた違いに高い吸入圧までのばして十分な圧縮比を保つ性能を実現する複合分子ポンプを開発した.ねじ溝真空ポンプの設計は, ...
- [text/html] -19k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 大気圧ターボ分子ポンプの開発
空が得られる高速・小型の機械式真空ポンプであり,半 ... 大気圧ターボ分子ポンプの開発. 38. るようにする。 それにより非常にシンプルな真空排気系 ... 今回,当社で開発したターボ分子ポンプは, 従来, 最も広く ...
- [pdf] -392k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプ.com 真空技術で新たなる発見を
真空ポンプ、真空技術を利用した製品の紹介、真空の基礎知識等。 ... ターボ分子ポンプ. ・エジェクタ(真空)ポンプ. ・油拡散ポンプ. ・ソープションポンプ ... 各種小型真空ポンプ・小型真空蒸着装置・小型スパッタリング装置などの開発・製造・販売 ...
- [text/html] -20k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空の威力-資料館 ⁄ 真空・プラズマ機器と研究開発機器の製造・販売 ...
真空を引き初めて、しばらくしての出来事でした。 ターボ分子ポンプを使用していました。 ターボ分子ポンプは、破片を吸い込むとかなり危険な状態になりますが、上面に配置されたメッシュにより大きな破片の吸い込みを防止で出来たため、ポンプの事故は免れることが出来ました。 ...
- [text/html] -5k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプ.comは、真空ポンプや、真空技術を利用した商品開発などをご ...
真空ポンプの仲間たち:ターボ分子ポンプ ... ターボ分子ポンプとは、タービン型の翼をもつロータ(動翼)、およびステータ(固定翼) ... 分子ポンプはある程度の真空中で使用する必要があるため、ドライポンプやロータリーポンプのようなフォアポンプ ...
- [text/html] -12k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプの開発(2)
耐磁場用セラミック製ターボ分子ポンプの開発. 核融合炉において連続的に真空排気を行うことを目的として 耐磁場性のターボ分子ポンプの開発をすすめています。 ... ロータ材にセラミックを用いて、回転動力をガスタービンとすることで磁場の影響を無くしました。 ...
- [text/html] -1k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置>小型真空機器 > アルバック機工
ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 VPT-030. ドライ型. 概 要 ... これらのうちで、特に高真空を必要とする用途のために開発しました。 高真空ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせで、完全ドライを実現しました。 ...
- [text/html] -21k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ターボ分子ポンプ、真空排気装置ならアルバック(ULVAC)
ターボ分子ポンプ(ターボ、分子ポンプ、真空ポンプ)なら株式会社アルバックのUTM。 ... デジタル磁気軸受型ターボ分子ポンプUTM-FW/FHシリーズ. ターボ分子ポンプ排気ユニットYTPシリーズ. ピポット軸受型ターボ分子ポンプUTMシリーズ ...
- [text/html] -13k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- [SHIMADZU] 大流量排気型ターボ分子ポンプの開発
著者らは,バックポンプと一緒に使用し,真空容器の内部を超高真空に排気する磁気軸受形ターボ分子ポンプを製品化してきた。 ... ウェーハサイズの大口径(300 mm)化に向け,大流量高速排気に対応できるターボ分子ポンプの要求が高まってきたため, ...
- [text/html] -6k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプの種類-資料館 ⁄ 真空・プラズマ機器と研究開発機器の製造 ...
真空・プラズマ技術を中心とした、研究開発用機器の特注品製造と販売のアリオス株式会社です。 ... このとき、ポンプ内部が、ある一定以上の圧力になっていますと、ジェット流は、残留ガス分子との衝突により速度が落ち、排気速度が急速に低下します。 ...
- [text/html] -11k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプ|真空ゼミナール|佐藤真空
先端技術の開発分野でも半導体製品、宇宙機器をはじめ、医薬品の開発に携わる大学、官庁、民間企業の研究室で、真空ポンプは幅広く使用されている。 ... では有効であるが、高真空の気体密度が小さく気体分子同士が衝突しない範囲(分子流領域)では、気体分子 ...
- [text/html] -24k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ULVAC Recruiting Site
... 開発物語は、超高真空事業部(現先端機器事業部)のスパッタイオンポンプ開発 ... 真空事業部でイオンポンプの新しい市場獲得のため、ニーズを調べていた結果からも、今後、超高真空事業部の主力製品であるイオンポンプの生き残る場所はターボ分子ポンプ ...
- [text/html] -34k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 特許流通データベース/ライセンス情報表示
独立行政法人日本原子力研究開発機構. 発明の名称. 真空ポンプの排気方法. 技術分野. 機械・加工 ... 分子速度の大きい軽元素ガスをも確実かつ簡便に排気し、再生頻度を低減させることのできる、新しい真空ポンプの排気方法の提供。 ...
- [text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- XA/Fシリーズ | 真空ポンプ|エドワーズ株式会社
... 高い信頼性を維持する為に開発されたターボ分子ポンプです。 従来機種に比べて許容流量が３〜４倍にアップしたハイフローターボ分子ポンプです。 ... 重いガスや軽いガス共に飛躍的に流量性能を向上させた最新型のターボ分子ポンプです。 ...
- [text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの 開発
広い圧力領域で作動可能かつ連続排気が可能な真空ポンプであるターボ分子ポンプ(TMP)において,省エネルギ ... 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの. 開発. 東 尾篤 史平 井悦 郎. 安 井豊 明岡 村知 明 ...
- [pdf] -110k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- (株)大阪真空機器製作所 - マイナビ2011
大阪真空は、日本で初めてターボ分子ポンプの開発に成功した会社として業界では知られています。 ... 対外的にどこまでお話ししてよいのやら(笑)。私個人の仕事に関してハッキリ言えることは、ターボ分子ポンプの開発設計に携わっているということですね。 ...
- [text/html] -0k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 株式会社サンバック「真空蒸着装置」
研究機構向けに開発された本装置は、抵抗加熱機構2対・電子銃・基板回転機構・基板加熱機構を搭載しており、排気系もターボ分子ポンプを採用しておりますので、 ... 開発された装置で、排気系はオイルフリー仕様のドライポンプとターボ分子ポンプを採用しております。 ...
- [text/html] -27k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- タ−ボ分子ポンプ(アルカテル・バキューム・テクノロジー社製品)|真空 ...
研究開発・小規模生産装置. 真空コンポーネント. 真空ポンプ. 真空計. 質量分析計. リークディテクタ ... トップ>製品情報>真空コンポーネント>真空ポンプ>タ−ボ分子ポンプ(アルカテル・バキューム・テクノロジー社製品) ...
- [text/html] -10k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプ|真空コンポーネント|キヤノンアネルバ株式会社
長年の研究と最新の技術により開発・製品化されたもので、お客さまのすべてのニーズにお応えできるように、低真空から超高真空まで、各種のポンプならびに関連部品を取り揃えております。 ... ターボ分子ポンプ. ターボ分子ポンプ(アルカテル・バキューム ...
- [text/html] -14k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ターボ機械協会 : 真空ポンプ
中高真空を取り扱うポンプでは対象が分子流ですので、図３のようなターボ分子ポンプを使います。 ... 今後の素粒子、 バイオ、核融合、半導体研究や研究開発などには、真空ポンプの性能向上がますます必要になると予想されます。 ...
- [text/html] -9k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- iX/iXL/iXAシリーズ | 真空ポンプ|エドワーズ株式会社
また、iXA2205Cは半導体・LCD・ソーラーパネル製造装置用でコントロールユニット一体型の2000L/sクラスのターボ分子ポンプです。 ... 新開発MB技術(セルフセンシングMB)により振動をキャンセルおよび漏洩磁場を低減 ...
- [text/html] -15k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空機器を扱う大阪真空の業務内容をご紹介|新卒採用情報|株式会社大阪真空 ...
大阪真空は、1971年に日本で初めて「ターボ分子ポンプ(TMP)」の開発に成功。 ... 世界規模で見ても、極高真空ポンプから極低振動軸受形複合分子ポンプまで、幅広く多彩な真空ポンプを開発しているのは、大阪真空を含め数社しかありません。 ...
- [text/html] -9k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 開発本部|社員紹介|株式会社大阪真空機器製作所
ターボ分子ポンプは、飛行機のジェットエンジンの構造によく似たタービン翼を高速回転させて真空状態を作り出します。 ... 高い要望に応える優れた真空ポンプを開発したい。 ... どこよりも静かで、性能の高い真空ポンプの開発が私の夢。 ...
- [text/html] -9k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 株式会社大阪真空機器製作所|就職活動準備なら、リクナビ2012
当社は1971年に日本で初めて「ターボ分子ポンプ」の開発に成功。 ターボ分子ポンプとは、ジェットエンジンの羽に似たタービン翼が１秒間に数百回転して真空を作り出す機械式真空ポンプのことをいいます。 ... 改良型の「複合分子ポンプ」を世界に先駆けて開発。 ...
- [text/html] -28k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- (株)大阪真空機器製作所
(株)大阪真空機器製作所. 会社名(かな) おおさかしんくうききせいさくしょ. 資本金 ... ターボ分子ポンプ、複合分子ポンプ、磁気軸受形ターボ分子ポンプ、磁気軸受形複合分子ポンプ、ヘリカル溝真空ポンプ等の開発・製造・販売・メンテナンスサービス ...
- [text/html] -19k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空技術と次世代発想のアルバック(ULVAC):メモリ
... ディスプレイ・ディスクなど電子機器分野の薄膜プロセス装置(蒸着・スパッタ)を始め、あらゆる産業に向けた真空装置ならびに真空ポンプや真空計などのコンポーネントを製造、販売しています。 ... 研究開発向け高密度プラズマ ... 分子ポンプUTM ...
- [text/html] -19k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ダイヤフラム型ドライ真空ポンプ
医薬品業界に最適!!新開発のダイヤフラム型ドライ真空ポンプ です。 ... 一般のダイアフラム型の真空ポンプでは得られない真空領域を実現。 ケミカル ... ターボ分子ポンプ用補助ポンプに最適. 広域ターボ分子ポンプの補助ポンプとして使用可能。 ...
- [text/html] -38k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- カタログ検索 - 分子ポンプ|カタログモール|製造業エンジニア向け情報 ...
イプロスは製造業・エンジニア向け製品・技術情報サイトです。カタログモールでは、分子ポンプの製品・技術などの生産財のカタログを豊富に揃えています。 ... に高真空を必要とする用途のために開発しました。 ...
- [text/html] -59k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 伊那市工業技術ガイド|企業紹介|BOCエドワーズ株式会社
... 全世界のエドワーズの拠点向けに輸出されるターボ分子ポンプの開発・生産拠点となっています。 ... 当社は真空技術のリーディングカンパニーとして、製品開発の分野では、磁気浮上式ターボ分子ポンプを開発しています。 ...
- [text/html] -12k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ２−２−３ ターボ分子ポンプ(１)
２−２−３ ターボ分子ポンプ(１) 【技術分類】 ２−２ 真空ポンプ 【技術の名称】 ... 実際の製品例として、図２に示したタイプは、300mmウエハや１m角のガラス基板などの大型化に向けて開発された製品で、ガス流量重視の仕様・性能を持ち、 ...
- [text/html] -5k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
分子真空ポンプに一致するページ 約37300件中 1- 30 件目
- 大気圧ターボ分子ポンプの開発
空が得られる高速・小型の機械式真空ポンプであり,半 ... 大気圧ターボ分子ポンプの開発. 38. るようにする。 それにより非常にシンプルな真空排気系 ... 今回,当社で開発したターボ分子ポンプは, 従来, 最も広く ...
[pdf] -392k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの 開発
広い圧力領域で作動可能かつ連続排気が可能な真空ポンプであるターボ分子ポンプ(TMP)において,省エネルギ ... 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの. 開発. 東 尾篤 史平 井悦 郎. 安 井豊 明岡 村知 明 ...
[pdf] -110k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプの排気方法(特許第３３７７２２４号)
真空ポンプの排気方法(特許第３３７７２２４号) 独立行政法人 日本原子力研究開発機構保有特許 ... ターボ分子ポンプを用いた真空排気系の排気. 性能を向上できる。 ... 真空チェンバー１の温度を３００Ｋとし、入口バッフル２、ターボ分子ポンプ ...
[pdf] -105k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ドラッグポンプ
半導体プロセス、分析、薄膜技術、質量分析、プロセスガスモニター、研究開発、HV技術 ... ドライブ回路組込み型ターボ分子ポンプ ... ドラッグ分子ポンプ. 超小型なドラッグ分子ポンプ. 小型分析装置を始め、各種小型装置の真空排気に! ...
[pdf] -419k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 【PDF】ドライ真空ポンプユニット | 東横化学株式会社
各種研究開発. ・ 小型容器や部品の真空排気. ・ ターボ分子ポンプ用の補助ポンプ ... 高真空用ポンプに「ATH31+」ミニチュアハイブリッドターボ分子ポンプが搭載されています。 ... 「ドライテル１０２５」シリーズは、２種類の小型真空ポンプを組 ...
[pdf] -78k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ
分子流領域で有効に作動するポンプです。 軸流タービン型の翼 ... ターボ分子ポンプ. 各種プロセス用製造装置のメ. インポンプ. 各種実験・研究開発用装置の ... 清浄な超高真空領域まで排気. が可能. 気体移送式のため再生・活性. 化が不要 ...
[pdf] -311k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 平成１４年度成果報告書
(1) マイクロＭＳの開発. 本年度は、マイクロＭＳの要素技術である真空ポンプの小型化とイオン源の ... オイルフリー真空ポンプと小型ターボ分子ポンプの真空排気系によりマイクロ ... ータリーポンプ)を開発し、性能評価を行った。 ...
[pdf] -675k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ
定翼)からなる分子ポンプです。 概 要. 特 徴. 用 途. 各種プロセス用製造装置のメ. インポンプ. 各種実験・研究開発用装置の. メインポンプ. 分析装置のメインポンプ. 清浄な超高真空領域まで排気. が可能. 気体移送式のため再生・活性. 化が不要 ...
[pdf] -382k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 2
２−２ 省 エ ネ 型 、 次世 代型高真空 ポ ン プ シ ス テ ム の 開発 ... 現在開発済 み の 高背圧 タ ー ボ 分子 ポ ン プ を 到達真 空度 10 ... の 新 し い 真空用 タ ー ボ 分子 ポ ン プ と し て 、 ...
[pdf] -327k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 磁気浮上型ターボ分子ドラッグポンプ
半導体プロセス、分析、薄膜技術、質量分析、プロセスガスモニター、研究開発、UHV技術、HV技術、核融合等 ... 磁気浮上型ターボ分子ドラッグポンプは、様々な. 真空アプリケーションにおいて、高性能な運転を ...
[pdf] -222k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 【技術分類】
質量分離部については、四重極型、イオントラップ型で既に小型・軽量型のものが開発されている。 ... とターボ分子ポンプを連結することで、段階的に真空度を高くしている。 スクロールポンプはターボ ... 【図】真空ポンプの種類と圧力. 出典:「原子・分子の流れ」 ...
[pdf] -700k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 簡易総合カタロク2 ゙.ppt[読み取り専用]
の開発. 1926. 真空機器の会社として地位を築く. 1947 Erich Pfeiffer. が ... 世界最初のターボ分子ポンプを開発・販売. 1967. バルザース社と販売・サービスで業務提携 ...
[pdf] -3788k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 磁気浮上型遠心血液ポンプの開発
ンな真空)が要求される,半導体製造設備用のターボ. 分子ポンプに不可欠な技術となっている。 ... 図6に,開発した遠心ポンプの圧力―流量―回転数. 線図(PQN線図)を示す。 ... スタートし,その後真空ポンプなど産業機器への適用. が進んだ。 ...
[pdf] -212k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - (プロジェクト ID: 06A31002c) (研究期間: 平成 18 ...
研究テーマ名: 真空スプレー法を用いた高分子型 EL 素子製造装置の開発 ... た高分子型EL素子製造装置を開発し、 ... 真空槽内をロータリーポンプ 2 (RP2) とターボ分子ポンプ(TMP) によって 5×10 ...
[pdf] -303k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 中小企業の特定ものづくり基盤技術の高度化に関する指針(抜粋)
自己故障診断機能付き真空ポンプの開発等、故障率低減に資する研. 究開発 ... 大気から高真空まで排気できるポンプの開発、大気から高真空まで ... ガリウムの腐食に強いターボ分子ポンプの開発、オイル劣化・水錆. の発生しない ...
[pdf] -24k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 学連携 ニ ュ ー ス 産
して開発したポータブル超小型SEM. では、試料室を真空にする真空ポン. プにターボ分子ポンプを採用した。 堀場は、各用途ごとに仕様をどう ... Paの高真空にするイオンポンプ. 東大先端研、IMSIと共同研究中の表面活性 ...
[pdf] -35k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 木下式高速油拡散ポンプ
... 従来方式のヒックマンポンプを改良し、高真空を短時間に. 作る高速油拡散ポンプを開発 ... を重ね、その結果、短時間で高真空を作る、 「高速油拡散ポンプ」 を開発いたしました。 ... たラッパ管から気体分子の蒸気膜(目視はできない) を、間断なく ...
[pdf] -458k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - small vacuum system
ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 ... ちで、特に高真空を必要とする用途のために開発しました。 高. 真空ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせで、 完全ドライを実現しました。 特 長. ドライ型 Dry ...
[pdf] -70k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 高背圧・高圧縮 デジタル制御磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプUTM-FH. シリーズは、デジタル 5 軸制御磁気 ... 腐食ガスをターボ分子ポンプで排気する場合、モータ軸部の. 腐食防止のための不活性ガス(N ... 各種研究開発・実験装置用メインポンプと. して. Features ...
[pdf] -1276k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - TYPE:TriboVac2000
ターボ分子ポンプにより最大 10Pa までの真空引きが. 可能です。 ... 本製品は東北大学大学院工学研究科 堀切川・山口(健)研究室との共同開発にて作成されました ... 真空ポンプ. ターボ分子ポンプ及びロータリーポンプ. ターンテーブルサイズ ...
[pdf] -1742k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 【PDF】ドライポンプ | 東横化学株式会社
真空機器ドライポンプ TYK37-ACP-02 2010/1 ... 各種研究開発、分析用. ・真空装置のあら引きポンプ. ・ターボ分子ポンプ用の補助ポンプ ... 域で活躍する多段ルーツ式の空冷型ドライ真空ポンプです。 ロータリー ...
[pdf] -288k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空・真空ポンプに関する質問 真空ポンプの構造はどうなっているの?
より高真空のポンプとして、最近よく使われるのはターボ分子ポンプで. す。 ... ターボ分子ポンプを使うと、 程度の真空を作り出すことができ. 0.0000001Pa ... その後 人間は 天然の原料をもとに加工して別のものを作り出す技術を開発しました ...
[pdf] -95k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - PRESS RELEASE
となる製品の開発を推し進めてきた。 既に水素リークディテクタ、真空計、 ... 本モデルは、世界有数の真空ポンプメーカである. AVT ... その後ターボ分子ポンプ、各種ドライポンプ、ヘリウムリークディテクター等の計測機器の開発、製造 ...
[pdf] -41k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 超音速分子ビーム源の開発
超音速分子ビーム源の開発. 三重大院・教育 池防清香 三重大・教育 川口 元一 ... ３.分子ビームの噴流成分の測定. 真空容器内でバルブの下流 ... 真空ポンプ・真空容器の体積【 m. 3. 接地に接続されたコンデンサー【 F】 ...
[pdf] -56k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 調査対象技術の技術概要
本標準技術集に収録されている各製造プロセスの製造装置技術には、比較的初期に開発さ ... 分子ポンプは大気圧から真空引きがおこなえないため、まず油回転ポンプであら引きをおこ. ない、ピラニ真空系で真空度を確かめた上で、ターボ分子ポンプで本引きをおこなう。 チャ ...
[pdf] -228k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 超音速分子ビーム源の開発
超音速分子ビーム源の開発. 202M042 池防 清香. 指導教官 松岡 守. 1. はじめに ... 定した真空度のずれから分子ビームの速度が求めら. れると考え実験を行った。 ... 真空ポンプ・真空容器の体積【 m3】 接地に接続されたコンデンサー【F】 ...
[pdf] -181k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 技術アライアンス情報シート 参加日:両 日
自社開発製品(技術) その他. 真空ターボ分子ポンプ製造メーカー. 事業内容(扱い製品) 資本金 ３４８,０００千円 ... (ＳＵＳ・ＡＬ)・成型(樹脂・ロスト・ダイカスト) ターボ分子ポンプ関係部品. 従業員 ２００ 名 ...
[pdf] -7k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - Microsoft PowerPoint - 3654916_蒸気噴射 ...
蒸気噴射ポンプ(特許第３６５４９１６号) 日本原子力研究開発機構保有特許 ... 本発明は超高真空ポンプに関するもので、大型加. 速器や宇宙機器研究開発に適用できるほか、超高 ... 高真空ポンプとして油拡散ポンプ、ターボ分子ポンプが一般に使用され ...
[pdf] -418k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 分子科学研究所 極端紫外光研究施設(UVSOR)技術研修に参加して
工学研究科・工学部技術部 装置開発技術系. はじめに ... び超高真空に関する基礎的知識と基本的技術を習得することを目的として技術研修に参加した。 ... 動作中に異音のあったターボ分子ポンプの内部点検を実施した。 目視 ...
[pdf] -722k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 科研・特定領域研究 「核融合トリチウム」
開発計画. Ｐセル型水素. ポンプ応用. 機能試験. Ｄ実験開始. Ｔマスバランス測定・分析 ... ＬＨＤ真空排気系のポンプ構成. クライオポンプ( 10. 台) ターボ分子ポンプ(５台) ＬＨＤ. 真空容器. Ｔ除去装置へ ...
[pdf] -263k -キャッシュ -別ウィンドウで開く