分子真空ポンプ
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- 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの 開発
広い圧力領域で作動可能かつ連続排気が可能な真空ポンプであるターボ分子ポンプ(TMP)において,省エネルギ ... 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの. 開発. 東 尾篤 史平 井悦 郎. 安 井豊 明岡 村知 明 ...
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- 【PDF】ドライ真空ポンプユニット | 東横化学株式会社
各種研究開発. ・ 小型容器や部品の真空排気. ・ ターボ分子ポンプ用の補助ポンプ ... 隔膜の往復運動で真空排気を行うメンブレンポンプ(一般的にはダイヤフラムポンプと呼ばれる) ... 「ドライテル１０２５」シリーズは、２種類の小型真空ポンプを組 ...
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- 平成１４年度成果報告書
(1) マイクロＭＳの開発. 本年度は、マイクロＭＳの要素技術である真空ポンプの小型化とイオン源の ... 空部のスペック合わせた真空排気系を構築した。 本研究において開発した小型 ... オイルフリー真空ポンプと小型ターボ分子ポンプの真空排気系によりマイクロ ...
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- ターボ分子ドラッグポンプ
半導体プロセス、分析、薄膜技術、質量分析、プロセスガスモニター、研究開発、HV技術 ... ドライブ回路組込み型ターボ分子ポンプ ... ドラッグ分子ポンプ. 超小型なドラッグ分子ポンプ. 小型分析装置を始め、各種小型装置の真空排気に! ...
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- 磁気浮上型遠心血液ポンプの開発
ンな真空)が要求される,半導体製造設備用のターボ. 分子ポンプに不可欠な技術となっている。 ... 人工心臓の開発初期のターゲッ. トであった,自然心臓を切除し血液ポンプを埋込む完 ... スタートし,その後真空ポンプなど産業機器への適用. が進んだ。 ...
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- 中小企業の特定ものづくり基盤技術の高度化に関する指針(抜粋)
用した真空ポンプ、真空計、その他の真空部品の開発、温度補償付 ... 自己故障診断機能付き真空ポンプの開発、ＩＴ機能付加による情報 ... ガリウムの腐食に強いターボ分子ポンプの開発、オイル劣化・水錆. の発生しない油回転真空 ...
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- small vacuum system
ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 ... ちで、特に高真空を必要とする用途のために開発しました。 高. 真空ダイアフラムポンプとターボ分子ポンプの組み合わせで、 完全ドライを実現しました。 特 長. ドライ型 Dry ...
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- 磁気浮上型ターボ分子ドラッグポンプ
半導体プロセス、分析、薄膜技術、質量分析、プロセスガスモニター、研究開発、UHV技術、HV技術、核融合等 ... 磁気浮上型ターボ分子ドラッグポンプは、様々な. 真空アプリケーションにおいて、高性能な運転を ...
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- 【技術分類】
質量分離部については、四重極型、イオントラップ型で既に小型・軽量型のものが開発されている。 ... とターボ分子ポンプを連結することで、段階的に真空度を高くしている。 スクロールポンプはターボ ... 【図】真空ポンプの種類と圧力. 出典:「原子・分子の流れ」 ...
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- TYPE:TriboVac2000
ターボ分子ポンプにより最大 10Pa までの真空引きが. 可能です。 ... 本製品は東北大学大学院工学研究科 堀切川・山口(健)研究室との共同開発にて作成されました ... ターボ分子ポンプにより 10 Pa までの真空引きに対応。 ...
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- 超音速分子ビーム源の開発
超音速分子ビーム源の開発. 202M042 池防 清香. 指導教官 松岡 守. 1. はじめに ... 定した真空度のずれから分子ビームの速度が求めら. れると考え実験を行った。 ... 真空ポンプ・真空容器の体積【 m3】 接地に接続されたコンデンサー【F】 ...
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- PRESS RELEASE
本モデルは、世界有数の真空ポンプメーカである. AVT ... リューションを提供する製品を開発・製造・販売している真空機器メーカです。 ... その後ターボ分子ポンプ、各種ドライポンプ、ヘリウムリークディテクター等の計測機器の開発、製造 ...
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- 高背圧・高圧縮 デジタル制御磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプUTM-FH. シリーズは、デジタル 5 軸制御磁気 ... 腐食ガスをターボ分子ポンプで排気する場合、モータ軸部の. 腐食防止のための不活性ガス(N ... 各種研究開発・実験装置用メインポンプと. して. Features ...
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- 「1分子 DNA 解析システムの開発」発表内容
ポンプ. 事業原簿 (別紙４)P 11. 10. １分子. DNAハンドリング技術の開発 (b)大気中から真空中への1分子DNAハンドリング技術の開発 ... 真空蒸着法. コロイド法. 以外でも１分子. SERS活性. を確認. 2. μ. m x 2. μ ...
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- PRESS RELEASE
管の製造用真空機器の内製化と分析装置の開発、販売を狙い合弁で設立された会社(旧社名日電バリア ... 研究開発用真空機器、半導体・電子部品用薄膜製造・加工装置と ... その後ターボ分子ポンプ、各種ドライポンプ、ヘリウムリークディテクター等の計測機器の開発、製造 ...
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- 真空・真空ポンプに関する質問 真空ポンプの構造はどうなっているの?
ターボ分子ポンプを使うと、 程度の真空を作り出すことができ. 0.0000001Pa ... ボ分子ポンプを動かすようにします。 このように、ポンプ毎に真空 ... その後 人間は 天然の原料をもとに加工して別のものを作り出す技術を開発しました ...
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- MORESCO (5018 JASDAQ)
同社は、分子蒸留により高精製された真空ポンプ油の開発により真空技術を得とく、水とグリコールを基材にした「燃え ... 品開発に役立っている。 ... たとえば、創業製品である真空ポンプ油、火災や爆発事故を未然に防ぐ難燃性作動液、プラスチックの ...
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- 学連携 ニ ュ ー ス 産
して開発したポータブル超小型SEM. では、試料室を真空にする真空ポン. プにターボ分子ポンプを採用した。 堀場は、各用途ごとに仕様をどう ... オンポンプ、各種のレンズ系、2次電. 子検出器などをセラミックス製円筒. の ...
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- 技術アライアンス情報シート 参加日:両 日
自社開発製品(技術) その他. 真空ターボ分子ポンプ製造メーカー. 事業内容(扱い製品) 資本金 ３４８,０００千円 ... (ＳＵＳ・ＡＬ)・成型(樹脂・ロスト・ダイカスト) ターボ分子ポンプ関係部品. 従業員 ２００ 名 ...
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- 卒業研究報告
4.2 真空度によるターボ分子ポンプの排気速度への影響・・・・・・・・・・・17 ... そこで近年、水素燃料電池によって走る新しい自動車の開発が急がれている。 水素燃 ... ローコントローラ、ヌードゲージ、ターボ分子ポンプが取り付けられており、真空装置 ...
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- 研究課題名 分子分解能を有する液中原子間力顕微鏡開発
ーの機械的 Q 値はロータリーポンプによる排気だけで得られる簡易真空中でも十分に向上可能であるため、こうし ... 平成 15 年度以降は、これまでに開発を進めてきた要素技術を集約するとともに、DNA やタンパク質分子分解能 ...
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- 真空ポンプ油 真空グリース
ULVAC 純正油「ULVOIL」Rシリーズ、スーパー Rシリーズは、油回転真空ポンプ向けに開発された ... 分子が重合したり、切断されたりして、 油の粘度が増減します。 「ULVOIL」は、 ... する炭化水素系合成真空ポンプ油で. す。 ...
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研究開発テーマ名. 効率的バイオマーカー探索を目指した近接場プローブ・ナノ領 ... 用いられているターボ分子真空ポンプ及びロータリー真空ポンプ ... ボ分子ポンプは、質量分析計の真空チャンバーに直接取り付けられているため、現状では振動対 ...
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- 第１章 研究開発の概要
真空ポンプシステムの開発 (三菱重工業、升島研究室、平田研究室) 今回開発する ... 真空 ポ ン プ. 企画経理. 総務. 広島研究所 ... 音型ターボ分子ポンプの開発)」 研究員氏名. 年齢. 所. 属. 研究分担. 分子. 製作) 外山勝久 ...
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- GreenReport2003
おかげさまで、2002年度はアルバックが開発した、ドライポンプ省電力化アタッチメント ... 真空ポンプ・バルブ関連機器. ドライポンプ・油回転ポンプ・ターボ分子ポンプ・メカニカルブ ... 蒸着重合装置は、真空中で小さい分子(モノマー)を蒸着・重合 ...
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- 広域・大流量 デジタル制御磁気軸受型ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプUTM-FW. シリーズは、デジタル 5 軸制御磁気 ... メインポンプとして. 各種研究開発・実験装置用メインポンプと. して. Features ... 腐食ガスをターボ分子ポンプで排気する場合、モータ軸部の ...
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- 調査対象技術の技術概要
本標準技術集に収録されている各製造プロセスの製造装置技術には、比較的初期に開発さ ... 分子ポンプは大気圧から真空引きがおこなえないため、まず油回転ポンプであら引きをおこ. ない、ピラニ真空系で真空度を確かめた上で、ターボ分子ポンプで本引きをおこなう。 チャ ...
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- PRESS RELEASE
本モデルは、世界有数の真空ポンプメーカである. AVT ... ューションを提供する製品を開発・製造・販売している真空機器メーカです。 ... その後ターボ分子ポンプ、各種ドライポンプ、ヘリウムリークディテクター等の計測機器の開発、製造 ...
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- ULVAC
これは、同社の真空ポンプ事業の拡大に伴. い、同工業団地隣接地に、新たに約1万7,700 ... 年真空ポンプを開発、製造してきた実績をベ. ースにして、より高い信頼性を実証した真空 ... 水晶振動子を利用した生体分子間相. 互作用測定装置を開発・販売する目 ...
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- 平成１５年度 高校生を対象とした授業公開用シラバス
2000 年 10 月「導電性ポリマーの発見と開発」でノー ... 真空ポンプを用いて透明の容器内部に真空をつくり、蒸発、凝固、圧縮・膨張、化 ... 真空の利用法(真空蒸着、フリーズドライ製法、分子線エピタキシーなど) を説明する。 ...
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分子真空ポンプに一致するページ
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独立行政法人 宇宙航空研究開発機構. 宇宙科学研究本部長 井上 一 ... 到達真空度1×10-6Torr(1.3×10-4 Pa)(クライオポンプ+ターボ分子ポンプ) ... (b)主排気系 1,500 l/sターボ分子ポンプ ...
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- H20年度宇宙輸送シンポジウムアブストラクト
極低温流体中に生じるキャビテーション現象の解明には、「直接見る」ことがもっとも重要な要素の一つであると考え、平成19年度よりJAXA角田においてポンプの可視化装置の設計、透視管素材及びシールの実証試験を行い選定を進めてきた。 ...
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- 国立大学法人九州工業大学
... 組み込みソフトの品質改善が図れるソフトウェア開発支援システムを提供する。 ... 本発明は、例えば、気密室(真空チャンバ-を含む)等での半導体チップや精密部品の搬送、 ... バルブレスマイクロポンプ ...
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- 02-12 第3回機素潤滑設計部門講演会
202 アクティブバルブを用いた共振駆動形圧電マイクロポンプ(負荷特性と小形化の検討) ... 212 真空環境対応静電浮上式リニアモータの開発 ... 215 二分子層ナノ潤滑膜の開発. 加藤孝久(産総研)、Choi Junho ...
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- 流体工学部門講演会
301 ディフューザ型バルブレスマイクロポンプの開発/〇田中誠一(九工大院),大島裕史(九工大院),塚本寛(九工大),宮崎康次(九工大) ... G205 分子膜PSPの開発と評価/〇松田佑(名大院),森英男,新美智秀(名大),上西裕之,平光円(名大院) ...
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分子数層の吸着膜と基板界面に生じるスリップの研究は、原子スケールの摩擦学『ナノトライボロジー』の1つとして注目されている。 ... 上記の排気システムの自作に必要な真空ポンプ、の測定システムに必要な高周波アッテネーターは本助成金により購入した。 ...
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104 セリア系固体酸化物型燃料電池の設計法の開発に関する研究/鳴海涼(東北大),佐藤一永,橋田俊之,湯上浩雄,水崎純一郎 ... 311 真空環境下のトライボコーティング潤滑による低摩擦発生機構/足立幸志(東北大),飯田淳 ...
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- 「電子加速器ビームダンプの調査とR&D項目の検討」報告書
SLCのA-BEAM DUMP (D-11)の(サージタンク、ポンプ、熱交付きの)閉ループの水システムで、サージタンク上部の自由空隙(the aerated gas space)で水素濃度を測定した。 ...
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フェムト秒時間分解電場蛍光測定システムの開発と光機能性分子への応用. 研究テーマ (欧文) ＡＺ ... ITO基板上に高分子を作成し,その上に半透明アルミニウムを真空蒸着し,ITOとアルミニウム間に外部電場を印加した。 ...
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「こんにゃくを使った餃子」「淡路島焼きプリン」などの独特の商品が開発された、 ... 1892年には磁気分子説を唱えた明治初期のお雇い外国人で、 ... ガス入り白熱電球や水銀真空ポンプを発明し、 また晩年にはヨウ化銀を ...
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- yokou1030728230109.doc
これは、真空製膜装置によって作製したZnS/Sn/Cu積層膜をN2+H2S反応ガス中において熱処理する二段階作製法である。 ... 本研究では、ターボ分子ポンプを主ポンプとする高真空排気系と、ステンレスチャンバーで新型の硫化炉を設計製作した。 ...
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高温用潤滑油、作動油、真空ポンプ、切削油、極圧添加材. 可塑剤. 絶縁用 ... 処理技術の開発状況、諸外国の状況調査を開始. 1996年(平成8年) ... 5,5'(オルト位)に塩素がない場合は、分子同士がぶつからないため、 ...
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- プロダクト分析
このような窓ガラスが開発できれば、その用途は広い。 ... これは加熱によって液体の分子運動が高速になるためである。 ... 内燃機関、冷凍機、および拡散真空ポンプの動作において発生する。 2. 乾燥にも利用される。 3. ...
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- 第1章 LCA の歴史と他業界の取組み
... 装置の計算には真空ポンプなどの装置構成部品のデータが必要になる。 ... ケーススタディとしてTMP(ターボ分子ポンプ)を取り上げてLCAの調査研究が行われた。 ...
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二酸化炭素の光還元反応は真空ポンプを備えた閉鎖循環型ガラス反応装置を用いて行った.触媒0.3-2.0 gを石英反応管底面(50φ)に広げ,前処理として60分間,673 Kで酸素処理を行い,その後, ...
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- [MS-Word ファイル]
119 上肢障害者用自転車の開発に関する人間工学的考察. 正 小嶋高良(八戸工大) ... 310 ガス種によるドライ式スクロール真空ポンプの到達圧力の違い ... 311 ねじ溝ターボ分子ポンプの性能に及ぼす遠心力およびコリオリカの影響 ...
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(自然科学研究支援開発センターとの連携) 理学部・理学研究科体験コーナー(理学部,ピロティ周辺) ... 透明ガラスデユアーに液体ヘリウムを入れ,真空ポンプで引いてさらに温度を下げ,-２７１℃以下にして超流動状態を出現させる。 ...
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- 要旨
... 真空紫外一光子イオン化飛行時間型質量分析計の開発を行ってきた。 本研究では開発したプロトタイプ機を用いた大気測定を試みた。 ... 飛行時間型質量分析計はイオン化部及び質量選別・検出部からなり、単一のターボ分子ポンプにより差動排気される。 ...
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- 1007液相純化研究論文..>
低温液体用遠心ポンプを使用した. 液体キセノンの超高純度純化方法の開発 ... nmの真空紫外領域に位置する.シンチレーション光の発光プロセスは,励起キセノン分子からの低エネルギー状態への遷移に伴う光子放出であるため,キセノン自身による ...
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- 【MS-Word】
本装置のフローダイヤグラムを図１に示すが、２系列の捕集トラップ、サーマルマスフローコントロール、２段のガス吸引用のタンク(内容量;1L)、タンク内を陰圧にする小型真空ポンプ、採取流路パージ用ポンプ、流路切り替え ...
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- 株式会社
雑音の影響をさらに少なくするような機器の開発。 ... プラントの構成要素にはポンプ・攪拌機等の磨耗を伴う機械的要素や、反応器・配管等の腐食や劣化が避けられない装置が含まれており、ある程度運転すると必ず故障が発生する宿命を持っている。 ...
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