分子真空ポンプ
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分子真空ポンプ
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- 移動準備調査(１)
移動準備調査. 担当:山岸. 機器名:本体真空排気、ioni. 種類:真空機器. 構成:ターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプ電源、メカニカルブースターポンプ、ロータ ... 単相(ターボ分子ポンプ)、AC100V 単相(メカニカルブースターポンプ) ...
- [pdf] -127k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプ/真空ポンプとは
(参考文献「真空技術活用マニュアル」 発行:(株)工業調査会) 容器の中の気体を除去する機能を持つ装置が真空ポンプである。 ... 分子流領域で有効に作動する。 ・ドライ真空ポンプ. 油や液体を使用しないため、油蒸気などを嫌う ...
- [text/html] -15k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプなどについて - 質問・相談ならMSN相談箱
真空ポンプなどについて 私の扱っている装置の試料交換室は ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。 たまにロータリーから白煙があがるので、一度ロータリーを停止したいと思っています。 ... ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。 ... 起きている問題や疑問を徹底調査 ...
- [text/html] -57k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 本体排気
移動準備調査. 担当:山岸. 機器名:本体真空排気、ioni. 種類:真空機器 ... 入力:AC200V単相(ターボ分子ポンプ)、AC100V単相(メカニカルブースターポンプ)、AC200V３相(ロータリーポンプ:３相の順番?)、AC100V(イオン ...
- [word] -2831k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- [特許第3377224] 真空ポンプの排気方法
真空チェンバー、バッフルおよびターボ分子ポンプの構 ... って、機械的排気を行うターボ分子ポンプを用いた真空 ... (58)調査した分野(Int.Cl.7,ＤＢ名) F04D 19/04. F04B 37/16 (3) 特許 ...
- [pdf] -44k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプや真空装置はアトーテック
お客様に提示させていただく資料として、油回転真空ポンプの選定方法を表にしたものもございますが、これは大体の目安です。 ... 初歩から学ぶ真空技術 真空工業会編 工業調査会 ... 磁気軸受形 複合分子ポンプ(TG-Mシリーズ) ...
- [text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 10 (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 真空チャンバーからのガス ...
真空チャンバーからのガス流路に少なく. ともターボ分子ポンプおよび後段バッフルをガス流路の ... って、機械的排気を行うターボ分子ポンプを用いた真空 ... (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,ＤＢ名. F04D 19/04. F04B 37/16 ...
- [pdf] -25k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプ - Wikipedia
真空ポンプの主要スペックである排気速度は単位時間当たりの吸気口を通過した気体の量とJISに決められている。 ... そこでトスカーナ公爵はガリレオ・ガリレイに問題の調査を依頼した。 ... 分子ドラッグポンプ. スパッタイオンポンプ. サブリメーションポンプ ...
- [text/html] -56k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 分子ポンプ | イプロス エンジニアアンテナ | エンジニアに必要な情報 ...
分子ポンプのことならエンジニアアンテナで話題の情報を一発検索。 ... 「分子ポンプ」に関する情報をまとめて調査! 製造業エンジニア向け情報サイト『イプロス』 ... ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20. アルバック機工株式会社 ...
- [text/html] -33k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 株式会社大阪真空機器製作所:資材調達
ルーツ真空ポンプ. 新製品. エジェクタ. ターボ分子ポンプ. 真空システム. ドライ真空ポンプ. 真空装置. 油回転真空ポンプ ... 外注仕入取引先調査表. Adobe Readerが必要な方はこちらから. ダウンロードしてください。 ...
- [text/html] -13k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ターボ分子ポンプ | イプロス エンジニアアンテナ | エンジニアに必要 ...
ターボ分子ポンプのことならエンジニアアンテナで話題の情報を一発検索。 ... 「ターボ分子ポンプ」に関する情報をまとめて調査! 製造業エンジニア向け情報サイト『イプロス』 ... ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAU-20. アルバック機工株式会社 ...
- [text/html] -34k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 調査対象技術の技術概要
分子ポンプは大気圧から真空引きがおこなえないため、まず油回転ポンプであら引きをおこ. ない、ピラニ真空系で真空度を確かめた上で、 ... ピラニ真空計 ターボ分子. ポンプ. 油回転. ポンプ. あら引き. バルブ. 背圧. バルブ. リーク ...
- [pdf] -228k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- (株)大阪真空機器製作所
... 真空機器製作所, 大阪真空, 真空ポンプ, 真空装置, 排気装置, 排気システム, ターボ分子ポンプ, 複合分子ポンプ, 磁気軸受形ターボ分子ポンプ, 磁気軸受形複合分子ポンプ, ドライ真空ポンプ, ドライポンプ, 油回転真空 ...
- [text/html] -19k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- ULVAC Recruiting Site
それと並行して、改良のための基礎データ収集を担当した小谷剛、金原浩之らが最初に行ったことは、現行ポンプの徹底的な調査であった。 ... 非常にきれいな真空ができる。 ターボ分子ポンプ: ポンプの一種。 ...
- [text/html] -34k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空ポンプとは - 走査電子顕微鏡用語 Weblio辞書
低真空用としては油回転ポンプ、高真空用としては油拡散ポンプやターボ分子ポンプ、超高真空用としてはスパッタイオンポンプなどが用いられる。 ... そこでトスカーナ公爵はガリレオ・ガリレイに問題の調査を依頼した。 ...
- [text/html] -87k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- NTT-AT 技術セミナ 基礎から学べる真空技術入門
真空ポンプ. 真空ポンプの概観、油回転ポンプ/ルーツポンプ/ターボ分子ポンプ/油拡散ポンプ/ソープションポンプ/クラインポンプ ... リーク量/リークの有無の判断/リークの場所とリーク量の調査/リークテスト用の機器/標準リーク/実際のリークテスト ...
- [text/html] -15k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- M O S A I C =Molecular Sensors for ...
図１に本研究で構成した低圧力域における３つのPSPの基礎特性調査に用いた実験系の概略図を示す.真空チャンバーは油回転ポンプ(日本真空技術:D-950)とターボ分子ポンプ(日本真空技術:UTM-300)により排気され, ...
- [text/html] -51k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空排気ユニット|真空ゼミナール|佐藤真空
... 2参照)。粗引きラインから高真空排気ラインへの切替えは、容器内圧力がターボ分子ポンプ、又は油拡散ポンプの作動開始圧力になった時点で行う。 ... (1) 真空用語事典 (㈱工業調査会 2001 (2) 真空技術実務読本 (㈱オーム社 1994 ...
- [text/html] -31k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空技術の基礎講座 | 研修・セミナーならR&D支援センター
セミナータイトル真空の基礎からポンプ、圧力測定、気密シール、リークテストについて... 調査・翻訳サポート. マーケティング塾. お問い合わせ. 真空技術の基礎講座 ... ｃ.ターボ分子ポンプ. ｄ.ハイブリッド型ターボ分子ポンプ. ｅ.油拡散ポンプ ...
- [text/html] -21k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 日本真空工業会 | 日本真空工業会について | 沿革
関西支部、企画・技術・調査・広報各委員会が発足. 第7回「真空展」開催. 1. 1986 ... 委託調査事業「イオン応用真空機器の技術動向」報告書発行 ... 低真空事業調査小委員会発足 「ターボ分子ポンプの安全性確保に関するガイドライン」発行 ...
- [text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 日本工業標準調査会標準部会第２９回産業機械技術専門委員会 配付資料
資料１ 日本工業標準調査会標準部会 第２７回、第２８回 産業機械技術専門委員会議事録 ... 資料３ [制定]JIS B8328 真空技術−ターボ分子ポンプの性能試験方法(工業標準等調査審議報告書:PDFファイル 7KB)(JIS原案) ...
- [text/html] -8k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 半導体製造装置関連真空・クリーン化技術
... 標準技術集 > 半導体製造装置関連真空・クリーン化技術 ... 特許庁総務部企画調査課技術動向班. 電話:03-3581-1101 内線2155 ... ターボ分子ポンプ(４) ２−２−４. クライオポンプ(１) ２−２−４. クライオポンプ(２) ...
- [text/html] -35k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 分科会活動の案内
機械式真空ポンプ・真空機器に関する調査研究分科会. 目的. 機械式真空ポンプ・真空機器の一種であるターボ分子ポンプは、化学技術の発展に伴い、 ... 機械式真空ポンプ・真空機器の現状・技術的問題ならびに将来展望について調査研究し意見交換を行い、 ...
- [text/html] -28k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空漏れについて - 質問・相談ならMSN相談箱
... ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空 ... 私の扱っている装置の試料交換室は ロータリーポンプとターボ分子ポンプで真空を引いています。 ... 産経新聞社会部が、あなたの身の回りで起きている問題や疑問を徹底調査した上でご報告します。 ...
- [text/html] -61k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 品質保証グループ|社員紹介|株式会社大阪真空機器製作所
それでも改善されない場合は、現地もしくは製品を返却いただいて、工場でポンプを調査。 ... 振動を極端に小さくし運転時の騒音を抑える、磁気軸受形ターボ分子ポンプの改良プロジェクトに参加したことは大変貴重な経験でした。 ...
- [text/html] -9k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 真空・真空ポンプに関する質問 真空ポンプの構造はどうなっているの?
より高真空のポンプとして、最近よく使われるのはターボ分子ポンプで. す。 ... ターボ分子ポンプを使うと、 程度の真空を作り出すことができ. 0.0000001Pa ... すのには、科学的な調査と解析が必要です。 一方、 ...
- [pdf] -95k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 2002年版 真空関連機器メーカーの戦略と将来展望 - 市場調査と ...
１.真空関連機器に関する概要. １)調査対象品目と区分. ２)主要真空関連機器メーカーのポジション ... １)真空ポンプ (１)全体の動向 (２)ドライポンプ (３)ターボ分子ポンプ (４)クライオポンプ (５)ロータリーポンプ ...
- [text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 電子顕微鏡 基本用語集
(株)工業調査会から出版)が好評発売中. 真空系. 理論. 照射系. レンズ系. 試料室. 検出系 ... 液体ヘリウムなどの冷媒により極低温の面を作り、そこに気体分子を吸着させ、高真空を得るポンプ。 ...
- [text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- (57)【 特許請求 の 範囲 】 【 請求項 １ 】
油 の 中 の 水素分子 と 置換 し て 、 該 ル ー ツ 真空 ポ ン プ 内 に ト リ チ ウ ム が 蓄積 す る と い う 問題 ... (58)調査した分野(Int.Cl.,ＤＢ名) G21B 1/05. F04D 19/04 ...
- [pdf] -108k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
- 日本テクノセンター 技術セミナー ブログ: 真空ポンプ基礎講座
... ご自分の興味分野にそれらの真空ポンプを応用できるかどうかを判断できると思う。 ... 12.気体分子の吸着と脱離. 13.真空壁の表面処理 ... 特許情報・調査レポート. 講師のコラム:ＭＯＴ雑感:技術者と会社の両者に役立つことは可能か ...
- [text/html] -20k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
分子真空ポンプに一致するページ 約21600件中 1- 30 件目
- 移動準備調査(１)
移動準備調査. 担当:山岸. 機器名:本体真空排気、ioni. 種類:真空機器. 構成:ターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプ電源、メカニカルブースターポンプ、ロータ ... 単相(ターボ分子ポンプ)、AC100V 単相(メカニカルブースターポンプ) ...
[pdf] -127k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - [特許第3377224] 真空ポンプの排気方法
真空チェンバー、バッフルおよびターボ分子ポンプの構 ... って、機械的排気を行うターボ分子ポンプを用いた真空 ... (58)調査した分野(Int.Cl.7,ＤＢ名) F04D 19/04. F04B 37/16 (3) 特許 ...
[pdf] -44k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 10 (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 真空チャンバーからのガス ...
真空チャンバーからのガス流路に少なく. ともターボ分子ポンプおよび後段バッフルをガス流路の ... って、機械的排気を行うターボ分子ポンプを用いた真空 ... (58)調査した分野(Int.Cl. 7 ,ＤＢ名. F04D 19/04. F04B 37/16 ...
[pdf] -25k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 調査対象技術の技術概要
分子ポンプは大気圧から真空引きがおこなえないため、まず油回転ポンプであら引きをおこ. ない、ピラニ真空系で真空度を確かめた上で、 ... ピラニ真空計 ターボ分子. ポンプ. 油回転. ポンプ. あら引き. バルブ. 背圧. バルブ. リーク ...
[pdf] -228k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空・真空ポンプに関する質問 真空ポンプの構造はどうなっているの?
より高真空のポンプとして、最近よく使われるのはターボ分子ポンプで. す。 ... ターボ分子ポンプを使うと、 程度の真空を作り出すことができ. 0.0000001Pa ... すのには、科学的な調査と解析が必要です。 一方、 ...
[pdf] -95k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 移動準備調査 機器名:可動静電プローブシステム 種類:計測器 構成:
真空部品(単管フランジ×２、ゲートバルブ、絶縁ベロ ... 真空維持システム(ターボ分子ポンプ一式、ロータリー ... ターボ分子ポンプとの接合部 プローブフィードスルー等. 計測等ラック 真空ゲージ、プローブ回路. プローブ ...
[pdf] -72k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - (57)【 特許請求 の 範囲 】 【 請求項 １ 】
油 の 中 の 水素分子 と 置換 し て 、 該 ル ー ツ 真空 ポ ン プ 内 に ト リ チ ウ ム が 蓄積 す る と い う 問題 ... (58)調査した分野(Int.Cl.,ＤＢ名) G21B 1/05. F04D 19/04 ...
[pdf] -108k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 【技術分類】
とターボ分子ポンプを連結することで、段階的に真空度を高くしている。 スクロールポンプはターボ. 分子ポンプの補助ポンプとして、はじめに. 10Pa以下の真空を作り出し、その後ターボ分子ポンプで ... 「モバイル型分析装置の現状と将来展望に関する調査研究報告書」 ...
[pdf] -700k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 資料３ 工業標準等調査審議報告書(制定・改正)
真空技術―ターボ分子ポンプの性能試験方法. 改正の場合、現行規格名称 ... しての日本真空協会規格 JVIS 005(ターボ分子ポンプ性能試験方法)がすでに存在しており、 ... 日本工業標準調査会の審議に関する事項. ・部会名:標準部会(部会長:二瓶 好正) ...
[pdf] -6k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 平成１４年度成果報告書
用い小型のターボ分子ポンプとシリーズ連結することによってマイクロＭＳ真 ... オイルフリー真空ポンプと小型ターボ分子ポンプの真空排気系によりマイクロ ... ンターフェイスを開発し耐圧性を調査中である。 このインターフェイスに微 ...
[pdf] -675k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 分圧真空標準に関する調査研究
分圧真空標準に関する調査研究. 吉田 肇 (平成. 18年2月15日受理) ... するという短所がある.また,真空計自身がポンプとし ... ボ分子ポンプで排気されており,定常状態でキャピラリー. 1. のコンダクタンスで ...
[pdf] -1853k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空系
ステンレス鋼のこのような処理において 、更に詳しい表面状態の調査から、表 ... らに大型ターボ分子ポンプは重量や体積の観点からもその取り扱いが容易でなく. 4. なってくる。 ... がら、掃出し型のターボ分子ポンプに対し溜込み型のクライオポンプでは 、排気 ...
[pdf] -224k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 工業標準化とは、自由に放置すれば多様化、複雑化、無秩序化する物や事柄を ...
真空関連の規格を調査し、その概要を一覧表にまとめるとともに国内規格と国際 ... この規格は、補助ポンプ(油回転ポンプ等)によって排気された真空 ... 真空ポンプ/ターボ分子ポンプ(ドラッグポンプを含む) ...
[pdf] -491k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - COMMISSIONING OF PHOTOCATHODE RF GUN ...
の範囲と悪く,現在原因を調査している. 2.4. 真空系. RTM は 550 /s のターボ分子ポンプ２台で排気され, 真空度は 1 ... ンプで排気され,RF を印加しない場合の真空度はイ. オンポンプ 部で 1. ×10. −9 ...
[pdf] -246k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - １７. 産業機械技術分野 １７.１分野別標準化戦略の概要 １７.１.１ 基本方針
真空技術(TC112)、TC127(土工機械)・TC195(建設用機械 ... 遠心ポンプの技術仕様(クラス１、２、３)の JIS 原案作成調査 :(社)日本産業機械工業会 ... ボ分子ポンプの性能試験方法の JIS 原案作成調査 :日本真空協会 ...
[pdf] -79k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 平成 11 年度受託研究成果報告書
超希薄気体流の固体表面圧力の計測に適用可能な機能性分子(OPMS)の調査 ... 本研究で構成した実験装置を図２−２に示す.真空チャンバーは油回転ポンプ(日 ... 張室,照準室,試験室)を行ない,膨張室と照準室はターボ分子ポンプ,試験室はク ...
[pdf] -390k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 平成 12 年度受託研究成果報告書
超希薄気体流の固体表面圧力の計測に適用可能な機能性分子(OPMS)の調査 ... 形成した.真空チャンバー内の排気にはターボ分子ポンプを用いた. レーザー光源には ... 本研究で構成した実験装置において,真空チャンバー(膨張室)は油回転ポンプ(日 ...
[pdf] -911k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 筑波大学大学院博士課程
調査の結果、これはサーベイヤー3 号の打ち上 ... ステンレス製の真空チャンバには、その下部からターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプ ... 真空チャンバとターボ分子ポンプ. 真空チャンバとターボ分子ポンプ)))) 8. 図. 図. 図 ...
[pdf] -1506k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - [特許第3448644] 真空排気兼不活性ガス導入装置
介して前記真空ポンプに接続されていることを特徴とす ... 分子不斉触媒の合成装置における真空排気ライン及び不 ... １２を開放にして、系全体の真空度を調査する際に使用. される。 【００２１】真空排気ライン１０及び不 ...
[pdf] -74k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ミニマスからマイクロマスへ
ura のアドバイスを受けて高分子を溶液中からイオン化し. ようと試みたことから始まる ... さて 本総説ではミニマスやマイクロマスの現状を調査 ... このシステムは現在ある装置の真空系 ポンプ 拡散ポ. ンプ 真空配管 ...
[pdf] -1814k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 2
現在開発済 み の 高背圧 タ ー ボ 分子 ポ ン プ を 到達真 空度 10 ... 製 作所 の 新 し い 真空用 タ ー ボ 分子 ポ ン プ と し て 、 ... 巨大分子イオン先行調査. ３重極、４重極質量分析器の開発. に関わる軌道計算 ...
[pdf] -327k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - レーザーによる環境計測技術の高度化に関する研究
内の排気にはターボ分子ポンプを用いた. ... 及びターボ分子ポンプにより排気され,その後 100%O. 2 ,1%NO-99%N. 2 ... 分配慮した.到達真空度の調査を実施し,ほぼ設計どおりであることを確認した. 148 ...
[pdf] -878k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - Abstract
フェムト秒レーザパルスによるポンプ・プローブ法を用いたエタノール分子の非断熱遷移制御 ... おけるエタノール分子の解離性イオン化反応を調査し. た結果 , ... Torr まで真空引きされた飛行. 時間質量分析器 (TOF ...
[pdf] -227k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 米国NETL、テキサス大との「CO
した真空ポンプ動力が不要となり、ま. た分離膜の所要面積が減少することか ... 分子ゲート膜の開発. 2003年10月より、経済産業省「地球 ... 関する調査(Ⅱ )NEDO平成4年度調査報告書. NEDO-P-9209 ...
[pdf] -282k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 株式会社荏原製作所
環境の調査.・ 分析から具体的な改善策の提案ま. で行っています。 産業用排水処理・水族館施設 ... 真空式・圧力式下水道システム. ポンプ機場設備 ... ドライ真空ポンプ. ターボ分子ポンプ. クライオポンプ. クリーンポリッシングシステム ...
[pdf] -561k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 第１章 研究開発の概要
真空ポンプシステムの開発 (三菱重工業、升島研究室、平田研究室) 今回開発する ... 真空 ポ ン プ. 企画経理. 総務. 広島研究所 ... 真空 、ビーム光学. 真空機器. 巨大分子イオン先行調査. ３重極、４重極. 量分析器の開 ...
[pdf] -331k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - pdf
気体の分子密度を測定する真空計. 圧力に依存する物理量を測定する真空計. 2.2 ... 内部から放出する気体、真空ポンプから逆流する気体のすべてをポンプで排気し、真空状 ... リーク発生箇所の調査方法 <ガイスラー管法> ...
[pdf] -212k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 10 到達目標 達成度 科 目 担当教員 対象学年等
... 平尾孝著(工業調査会) プリント ... 薄膜技術における真空の定義,必要性,真空ポンプについて説明する.真空ポンプについては各自で調査し,レ ... 原子・分子の励起・電離,放電現象の種類と特徴,プラズマ定義と特徴について説明する. ...
[pdf] -90k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - PRESS RELEASE
真空計. AVT が真空ゲージに関する全世界レベルでの市場調査を実施し、CAX がその要求に応える製品 ... その後ターボ分子ポンプ、各種ドライポンプ、ヘリウムリークディテクター等の計測機器の開発、製造. 販売をする世界トップクラス ...
[pdf] -23k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 3-2 ビームライン開発(新規増設・改造・高度化)
(NEG)を取り付け真空特性の変化を調査した。 排気能力と ... ターボ分子ポンプを組み合わせた標準排気ユニットによっ. て排気されている。 架台上に真空チェンバ、ターボ分子ポ. ンプなどが搭載され、架台は床にアンカー止めされている。 ...
[pdf] -70k -キャッシュ -別ウィンドウで開く