分子真空ポンプ
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分子真空ポンプに一致するページ 約451000件中 1- 30 件目
- ターボ分子ポンプ - Wikipedia
ポンプ使用中に圧力が高真空から低真空側へ急激に変化した場合、ポンプの破損に繋がる可能性がある。 TMPは良い真空が得られる手軽で便利なポンプである。 ... またターボ分子ポンプを設置する際には、固定を厳重にしておかねばならない。 ...
[text/html] -25k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ(TMP)・真空ポンプの種類と原理
ロータリー、油拡散、ターボ分子ポンプ等の原理 ... 真空ポンプの種類と原理. ターボ分子ポンプ(TMP) 構造: ... 油を使用せず、清浄で、高い真空度が得られる。 10-10 Pa程度. 気体の種類によらない排気速度。 構造が ...
[text/html] -7k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 中古真空ポンプターボ分子ポンプ TMP 販売、買取
ターボ分子ポンプコントローラー 大阪真空 TC353 ... ルーツ真空ポンプ アンレット CT4-65. ターボ分子ポンプ ライボルト ... 大阪真空. ターボ分子ポンプ. TG1100FVAB-60. コントローラーTC1103、ケーブル ...
[text/html] -14k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 株式会社大阪真空機器製作所:ターボ分子ポンプ
ターボ分子ポンプは動翼と静翼の多段組合せにより構成されています。 ... 高真空側から飛来した気体分子は、動翼に入射してから離れる際に、色々な方向に向かおうとします。 ... 分子流域においては、この動翼と静翼がターボ分子ポンプの基本的な機能を果します。 ...
[text/html] -31k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - アネスト岩田製品情報真空ポンプ
オイルフリースクロール真空ポンプのご紹介をしています。 ... 効果の高いドライスクロールに加わった小型高真空の新型機とドライスクロールを粗引きポンプにターボ分子ポンプを搭載した高真空排気ユニットを展示します。 ...
[text/html] -40k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ
真空ポンプの仲間たち:ターボ分子ポンプは多様な排気に対応出来る真空ポンプ! ... よって、ターボ分子ポンプはある程度の真空中で使用する必要があるため、ドライポンプやロータリーポンプのようなフォアポンプが必要となります。 ...
[text/html] -12k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ機械協会 : 真空ポンプ
中高真空を取り扱うポンプでは対象が分子流ですので、図３のようなターボ分子ポンプを使います。 ... 高真空を得るためにはターボ分子ポンプだけでは成立せず、低中真空ポンプを組み合わせなければいけません。 ...
[text/html] -9k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ 真空機器/成膜装置/FPD関連機器 島津製作所
ターボ分子ポンプ. 半導体・FPD製造プロセスを代表として、幅広い分野に応用されています。 ... 磁気軸受型ターボ分子ポンプをご採用いただくにあたって、末永く安全に取り扱っていただくため、事前にご確認いただくようお願い申しあげます。 ...
[text/html] -41k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプの種類と原理
ロータリー、油拡散、ターボ分子ポンプ等の原理 ... 真空ポンプもポンプはポンプで、機能は空気を容器からくみ出す事です。 ... また、対応できる圧力(真空度)がぞれぞれの方式で違うので、２つ以上のポンプを組み合わせる事も多く、普通のポンプとは違います。 ...
[text/html] -7k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - Busch: 製品情報 / ターボ分子真空ポンプ
真空ポンプ製品別選択. R 5. COBRA. Mink. Merlin. Huckepack ... 高真空領域で使用可能なクリーンな真空ポンプです。 製品の特徴. 完全なドライ圧縮 ... このターボ分子ポンプは、日本ブッシュで国内販売は行っておりません。 ...
[text/html] -22k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - １６１１１ ターボ分子ポンプ
常に一定方向の運動量を加えて、気体分子を排気する型の真空ポンプ。 ... Pa の超高真空. が得られる。 【図】ターボ分子ポンプ ... 「真空ポンプの種類と原理 ターボ分子ポンプ」、サンユー電子株式会社ウェブサイト、 http: ...
[pdf] -581k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空機器を扱う大阪真空の業務内容をご紹介|新卒採用情報|株式会社大阪真空 ...
大阪真空が世界に誇る技術. ターボ分子ポンプ ... 大阪真空は、1971年に日本で初めて「ターボ分子ポンプ(TMP)」の開発に成功。 ... 大阪真空の代表的な製品である「ターボ分子ポンプ(TMP)」は、 パソコンやデジタル ...
[text/html] -9k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプの排気方法(特許第３３７７２２４号)
ターボ分子ポンプを用いた真空排気系の排気 ... ターボ分子ポンプを用いた真空排気系. ・水素、ヘリウム等軽元素ガスの排気 ... １.【図１】に示す例では、真空チェンバー１の温度を３００Ｋとし、入口バッフル２、ターボ分子ポンプ ...
[pdf] -105k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空機器:ターボ分子ポンプ 島津エミット株式会社
HOME > 商品案内 > 真空機器 > ターボ分子ポンプ. ターボ分子ポンプ ... 微細化する半導体や、基板が大形化するFPD製造工程(エッチング、CVD)に最適な広域形流量ターボ分子ポンプです。 ...
[text/html] -28k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ [伯東株式会社] ファイファー バキューム ...
... ポンプ. ドライポンプ. ルーツポンプ. 真空計. リークディテクター. 質量分析計品. 真空部品. ターボ分子ポンプ ... ロータリーポンプなどの粗排気ポンプと組合わせて使用される気体移送式の機械的真空ポンプです。 ...
[text/html] -42k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - STP磁気浮上ターボ分子ポンプ|エドワーズ株式会社
磁気浮上ターボ分子ポンプのUHV(超高真空)シリーズは、半導体、表面科学、または高エネルギー物理業界にとっての選択肢です。 ... 磁気ベアリングの使用により潤滑剤が不要になり、真空プロセスのターボ分子ポンプによる汚染が解消されました。 ...
[text/html] -18k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - Vacuum Technology (Takagi Ikuji)
... 分子だけを捉えますが、それでも冷蔵庫という閉じた空間内で特定の分子の分圧を下げているのですから、真空ポンプ ... 大気圧では吸着すべき分子の数が多すぎて、吸着性能が直ぐに低下してしまいますから、長持ちさせるためには真空槽を別のポンプで中真空 ...
[text/html] -10k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 分子線エピタキシー法 - Wikipedia
超高真空排気機構(真空ポンプ類および残留ガス吸着機構(液体窒素シュラウドなど)) 真空計 ... このため、ポンプである程度の真空にした後、さらにチャンバー全体を加熱することでこれらの吸着分子を追い出す作業が行われる。 ...
[text/html] -45k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプ|真空ゼミナール|佐藤真空
... 高真空の気体密度が小さく気体分子同士が衝突しない範囲(分子流領域)では、気体分子を個別に排気する別のメカニズムを利用した真空ポンプが必要になる。 ... ポンプでは油を加熱して油蒸気を作り、ノズルから高速で吹き出すジェット流で気体分子 ...
[text/html] -24k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - iX/iXL/iXAシリーズ | 真空ポンプ|エドワーズ株式会社
HOME > 製品案内 > カテゴリから探す> 真空ポンプ> ターボ分子ポンプ 磁気浮上式 > iX ... また、iXA2205Cは半導体・LCD・ソーラーパネル製造装置用でコントロールユニット一体型の2000L/sクラスのターボ分子ポンプです。 ...
[text/html] -15k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの 開発
図１に,各種真空ポンプ. の作動領域比較を示す (1) .ターボ分子ポンプ(以下 TMP と ... 広い圧力領域で作動可能かつ連続排気が可能な真空ポンプであるターボ分子ポンプ(TMP)において,省エネルギ ...
[pdf] -110k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - アネスト岩田製品情報真空ポンプ製品別ラインアップVTCシリーズ
ご指定のターボ分子ポンプにて高真空排気ユニットを製作いたします。 ご相談ください。 特長 ... 本ユニットは、スクロール真空ポンプとターボ分子ポンプを個別に運転する手動操作とボタン一つで同時にスタートさせる自動操作※があります。 ...
[text/html] -43k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ２２３ ターボ分子ポンプ(１)
２２３ ターボ分子ポンプ(１) 【技術分類】 ２２ 真空ポンプ 【技術の名称】 ... ターボ分子ポンプは、極めて精密な扇風機のような構造で、 ... ドライエッチング、CVD、スパッタ、イオン注入機などの真空ポンプ 【出典/参考資料】 ...
[text/html] -5k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 中古機・真空ポンプ:クライオ・ターボ分子・ドライ・メカニカルブースター・油回転
ターボ分子ポンプ. ＴＭＰ１０００Ｌ. 島津製作所. 整備済、コントローラー ... ターボ分子ポンプ. ＴＧ１３００. 大阪真空. コントローラー有り ... 大阪真空. ２台. ＲＳ０９２７５８. ターボ分子ポンプ. ＴＧ３４５０ＭＶＷ ...
[text/html] -86k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - CiNii - 複合分子ポンプの開発
複合分子ポンプの開発 [in Japanese] 金戸 成 (株)大阪真空機器製作所八王子工場 ... 吸入側から背圧側に向かって寸法形状の変化するねじ溝をロータに切削し,その山部とステータ内壁面とのすきまを十分にとった新しい構造のねじ溝真空ポンプ ...
[text/html] -16k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空技術と次世代発想のアルバック(ULVAC)
油回転式真空ポンプ. D-240DK. 販売終了. 代替機種 VD151. 2008年12月 ... ターボ分子ポンプUTM-500/500C/500M用パワーサプライ 「T8」 ... ターボ分子ポンプUTM-50用パワーサプライ 「T6」 ...
[text/html] -47k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプ 真空技術専門商社 ULVAC-ES アルバック イーエス
アルバックイーエス株式会社の真空ポンプを紹介します。 ... ターボ分子ポンプ排気ユニット YTP ターボ+油回転 ... クライオポンプとは真空容器内に極低温面を設置し、これに容器内の気体分子を凝縮または吸着させて捕捉し、排気する。 ...
[text/html] -65k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空機器 - 荏原製作所
ドライ真空ポンプ"ESRシリーズ" ... ターボ分子ポンプ"ETAシリーズ" ... 真空ポンプや排ガス処理装置など、排気系全体を遠隔集中監視するシステムです。 真空機器に関するお問い合わせ. ローカルナビゲーションです。 ...
[text/html] -12k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ポンプ排気システム [伯東株式会社] ファイファー バキューム ...
真空計. リークディテクター. 質量分析計品. 真空部品. ターボ分子ポンプ排気システムとは ... ターボ分子ポンプと粗排気ポンプがスイッチ一つで同時駆動 ... ターボ゙分子ポンプ吸気口. DN. 40ISO-KF (NW40) 63 ISO-K. 63CF ...
[text/html] -21k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ドライ真空ポンプ"ESTシリーズ" - 荏原製作所
ホーム > 事業・製品 > 精密・電子事業カンパニー > 真空機器 > ターボ分子ポンプ"ETAシリーズ" ターボ分子ポンプ"ETAシリーズ" 型式. ETA500. ETA1300. ETA2500 ...
[text/html] -12k -キャッシュ -別ウィンドウで開く
分子真空ポンプに一致するページ 約46700件中 1- 30 件目
- １６１１１ ターボ分子ポンプ
常に一定方向の運動量を加えて、気体分子を排気する型の真空ポンプ。 ... Pa の超高真空. が得られる。 【図】ターボ分子ポンプ ... 「真空ポンプの種類と原理 ターボ分子ポンプ」、サンユー電子株式会社ウェブサイト、 http: ...
[pdf] -581k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプの排気方法(特許第３３７７２２４号)
ターボ分子ポンプを用いた真空排気系の排気 ... ターボ分子ポンプを用いた真空排気系. ・水素、ヘリウム等軽元素ガスの排気 ... １.【図１】に示す例では、真空チェンバー１の温度を３００Ｋとし、入口バッフル２、ターボ分子ポンプ ...
[pdf] -105k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 高背圧・大流量ターボ分子ポンプの 開発
図１に,各種真空ポンプ. の作動領域比較を示す (1) .ターボ分子ポンプ(以下 TMP と ... 広い圧力領域で作動可能かつ連続排気が可能な真空ポンプであるターボ分子ポンプ(TMP)において,省エネルギ ...
[pdf] -110k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 大気圧ターボ分子ポンプの開発
空が得られる高速・小型の機械式真空ポンプであり,半 ... 気系を構成する超高真空ポンプとして使用されている。 ... 大気圧ターボ分子ポンプの開発. 38. るようにする。 それにより非常にシンプルな真空排気系. を提供する ...
[pdf] -392k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 【PDF】ドライ真空ポンプユニット | 東横化学株式会社
小型容器や部品の真空排気. ・ ターボ分子ポンプ用の補助ポンプ ... 高真空用ポンプに「ATH31+」ミニチュアハイブリッドターボ分子ポンプが搭載されています。 ... 「ドライテル１０２５」シリーズは、２種類の小型真空ポンプを組 ...
[pdf] -91k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 10 (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 吸気口及び排気口を設けた ...
ことを特徴とするマルチターボ型真空ポンプ。 【請求項２】 ターボ分子ポンプの最下段翼の下方に配 ... おいて、高真空ポンプ１５はターボ分子ポンプであり、 補助ポンプ１６と配管１７で接続されている。 ... 【００２３】さらに、高真空側のターボ分子ポンプの最 ...
[pdf] -42k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空・真空ポンプに関する質問 真空ポンプの構造はどうなっているの?
より高真空のポンプとして、最近よく使われるのはターボ分子ポンプで. す。 ... ターボ分子ポンプを使うと、 程度の真空を作り出すことができ. 0.0000001Pa ... ボ分子ポンプを動かすようにします。 このように、ポンプ毎に真空の守備範囲が決まって ...
[pdf] -95k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 大型ヘリカル装置 ( L H D ) 用真空排気装置の性能向上と保守
... 同 5000l/s)×2 機、複合分子ポンプ(PTG:同 1800l/s)×2 ... 3.1 真空排気装置ベルジャー真空排気系の複合分子ポンプ用補助排気ポンプの増設. 平成 ... 3.3 真空排気装置ベルジャー真空排気系複合分子ポンプ瞬停電対策 ...
[pdf] -346k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空工学 Technology of Vacuum
真空とは何か、気体分子運動論の基礎 ... 真空ポンプの分子流領域での動作を理解するうえで重要な、壁面を叩く気体分子数の概念とその算 ... 超高真空ポンプの中でも、気体輸送式ポンプとして有名なターボ分子ポンプの動作原理と構造・特 ...
[pdf] -16k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - (57)【 特許請求 の 範囲 】 【 請求項 １ 】
... ル ー ツ 真空 ポ ン プ に 使用 さ れ て い る 潤 滑油 の 蒸気 の 分子 が ... 油 の 中 の 水素分子 と 置換 し て 、 該 ル ー ツ 真空 ポ ン プ 内 に ト リ チ ウ ム が 蓄積 す る と い う 問題 ...
[pdf] -108k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 詳細はこちら
クリーン排気&真空. ドライスクロールポンプとターボ分子. ポンプの組み合わせで、完全ドライ ... ターボ分子ポンプ. TMP. 真空計. Full ... ターボ分子ポンプコントローラー. TMP Controller. 真空計コントローラー ...
[pdf] -882k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - No.2
ターボ分子ポンプ(Turbomolecular Pump) 2.2. 真空計 ... びターボ分子ポンプを、排気の各段階における圧力の評価をするための真空計として中真空用にピラニ真 ... 真空容器側から正常回転中のターボ分子ポンプへ異物. を飛ばさないこと。 ...
[pdf] -1474k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 卒業研究報告
4.2 真空度によるターボ分子ポンプの排気速度への影響・・・・・・・・・・・17 ... ターボ分子ポンプ(TMP)、各種真空計、各種バルブ等で構成された真空 ... ローコントローラ、ヌードゲージ、ターボ分子ポンプが取り付けられており、真空装置 ...
[pdf] -244k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ３ .真空蒸着 と太陽電池
高真空排気 の 荒抜 き や タ ボ 分子 ポ ン プ の 補助 ポ ン プ と し て 油回転 ... 程度 の 高真空 ま で 達成 で き る 。 タ ボ 分子 ポ ン プ は 図 ３ ２ ... タ ボ 分子 ポ ン プ の 構造. ３ .１. ...
[pdf] -591k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - アネスト アネスト アネスト アネスト岩田株式会社 岩田株式会社 岩田株式会社
ターボ分子ポンプとオイルフリースクロール真空ポンプとの組合せのため、完全なドライ高真空排気 ... 本ユニットは、スクロール真空ポンプとターボ分子ポンプを個別に運転する手動操作とボタン一つで ... ターボ分子ポンプ. お客様ご指定のターボ分子ポンプ ...
[pdf] -167k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - (Technology of Vacuum)
2) 各種真空機器の名称と動作原理、取り扱い方を理解し、拡散ポンプ、またはターボ分子ポン ... 真空ポンプの分子流領域での動作を理解するうえで重要な、壁面を叩く気体分子数の概念とその算出法について述 ...
[pdf] -33k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 中性子ラジオグラフィを用いたターボ分子 ポンプ中での潤滑油の挙動解析
ターボ分子ポンプ(Turbo Molecular Pump;TMP)は真空ポンプの種で、内部の金属製の羽根が空気分子を弾き飛ばすことにより. 排気する方式のものであり、良い真空が得られる手軽で便利なポンプである。 ...
[pdf] -263k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ２９２１１ ポンプの連結
とターボ分子ポンプを連結することで、段階的に真空度を高くしている。 スクロールポンプはターボ. 分子ポンプの補助ポンプとして、はじめに. 10Pa以下の真空 ... ッターポンプは、金属表面が大気分子を化学的に吸着する性質を利用して真空を作り出す。 ...
[pdf] -700k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - small vacuum system
ターボ分子ポンプ小型高真空排気装置 ... 5.ターボ分子ポンプ345L/secで高速排気を得られます。 VTR-350M/X ... ターボ分子ポンプ小型真空排気装置. VTR-350M/X (油回転ポンプ仕様) 仕様 ...
[pdf] -132k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ターボ分子ドラッグポンプ
ターボ分子ドラッグポンプシリーズ. 特徴. 小型、モジュラデザイン ... ドライブ回路組込み型ターボ分子ポンプのラインナップがより整備され、 ... ドラッグ分子ポンプ. 超小型なドラッグ分子ポンプ. 小型分析装置を始め、各種小型装置の真空排気に! ...
[pdf] -419k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空ポンプ油 真空グリース
油エゼクターポンプなどの性能を最大限に引き出すには真空ポンプ油が不可欠。 ... 高品位特性を追求した油回転真空ポンプ専用オイル ... 同時に油を構成している高分子が機械. 的に分断されて、油の粘度が低下しま. す。 「ULVOIL」 ...
[pdf] -777k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 2
現在開発済 み の 高背圧 タ ー ボ 分子 ポ ン プ を 到達真 空度 10 ... 三 菱重工 業広島製 作所 の 新 し い 真空用 タ ー ボ 分子 ポ ン プ と し て 、セ ミ コ ン シ ョ ...
[pdf] -327k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ３.６ 真空を作るには (１) 真空容器 真空を作るには、外気と遮るため ...
から高真空まで連続的に排気できるポンプは存在. しません。 そこで通常、 ... ターボ分子ポンプ. 110 -10. スパッタイオンポンプ. 10 -3. 10 -8 ... c)ターボ分子ポンプ. 図７に示すように、きわめて狭い隙間で精密に ...
[pdf] -240k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 平成１４年度成果報告書
本年度は、マイクロＭＳの要素技術である真空ポンプの小型化とイオン源の ... 用い小型のターボ分子ポンプとシリーズ連結することによってマイクロＭＳ真 ... オイルフリー真空ポンプと小型ターボ分子ポンプの真空排気系によりマイクロ ...
[pdf] -675k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - ６.太陽電池・燃料電池
高真空排気の荒抜きやタ-ボ分子ポンプの補助ポンプとして油回転ポンプが使用され. る。 ... 程度の高真空まで達成できる。 タ-ボ分子ポンプは図６-２に示すようにロ-タ-翼と ... タ-ボ分子ポンプの構造. ６.１.２(ｂ) 真空蒸着 ...
[pdf] -1933k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 筑波大学大学院博士課程
ステンレス製の真空チャンバには、その下部からターボ分子ポンプ、ターボ分子ポンプ ... 以下まで減圧し、次にターボ分子ポンプを起動させる。 ... 真空チャンバとターボ分子ポンプ. 真空チャンバとターボ分子ポンプ)))) 8. 図. 図. 図 ...
[pdf] -1506k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - TYPE:TriboVac2000
ターボ分子ポンプにより最大 10Pa までの真空引きが. 可能です。 ... 真空中での各種摩擦摩耗測定. 各種宇宙産業用潤滑剤評価. 個体潤滑剤 ... 真空ポンプ. ターボ分子ポンプ及びロータリーポンプ. ターンテーブルサイズ. 直径:60 mm ...
[pdf] -1742k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - PowerPoint プレゼンテーション
のよいポンプを用いる必要がある。 真空ポン. プの性能は,この容器内の圧力をいかに速 ... 【分子】 ベーキングによるガスの飛ばし. 6.2.1 超高真空 ... 図１ ターボ分子ポンプ ((株)大阪真空機器カタログより) (b) クライオポンプ ...
[pdf] -356k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 角型高真空ベーキング装置
真空排気. 高真空排気はターボ分子ポンプを基本と. します。 ワーク性状により、フル排気速 ... 真空排気系. ※1. ターボ分子ポンプ + ロータリーポンプ又はドライポンプ. 真空計 ... 1.ターボ分子ポンプ排気速度:8003400. L/sec ...
[pdf] -82k -キャッシュ -別ウィンドウで開く - 真空・薄膜工学
真空の歴史、気体の状態方程式. 気体分子の速度分布、壁をたたく分子. 気体の平均自由行程と衝突確率 ... 真空ポンプ、圧力測定法. 気体の吸着. 表面反応と触媒. 薄膜成長の基礎と成長様式. ＰＶＤ、ＣＶＤ ...
[pdf] -12k -キャッシュ -別ウィンドウで開く